膜厚测试仪为多种不同表面提供全面形貌分析,包括半导体硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、精加工表面、光电子、薄膜/化学涂层、生物医学器件和平板显示。使用金刚石探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。
参数 Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLLTA.lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR
1、 测试范围:X轴:50mm Y轴:800mm(测量范围/分辩率:800mm/10nm)
2、 直线度精度:0.3mm/50mm
3、 规格要求:满足JIS-1994/ISO-1997/ASME-1995/ DIN-1990/CNOMO规格
4、 分析项目:可提供剖面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线、波纹度中心曲线
5、 表面特性图表:可提供负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分布曲线
6、 倾斜补偿方式:直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键补偿、(直线、R面、两端补偿可以在任意范围内)
7、 倍率要求:
纵倍率:50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*、自动
横倍率:1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自动
8、 滤波器的种类:标准型滤波器2RC、相位补偿型滤波器2RC、相位补偿型滤波器(高斯滤波器)
9、 测量速度:0.3、0.6、1..5 3mm/s(4速)
10、 传感器:前端半径2mm、材质为金刚石
11、 其他要求:提供测量AI,段差分析功能,PC卡
标准配件 标准片E-MC-S24B、记录纸(E-CH-S21A)、触摸笔(E-MA-S54A)操作说明书